用于晶圓廠設備監控的預測性維護方案
半導體設備工程師必須密切監控氣體瓶柜和冰水主機的運行狀態，以確保設備監控系統的效能。透過及時調整這些關鍵設備，工程師可以預防生產線的中斷，從而避免可能導致的重大損失。這種主動的監控和維護策略對于保持半導體制造流程的順暢和效率至關重要
 
用戶需求
同時要量測電流訊號和接收來自氣瓶柜加密過的信息，并傳遞到場域內部的數據收集系統
 
解決方案
1. 監控流量計/水位傳感器的電流訊號：
• 需要量測范圍在4至20mA的電流訊號
2. 接收加密的OPC UA信息：
• 從氣瓶柜接收經過加密的OPC UA信息
3. 資訊整合與傳遞：
• 將收集到的信息進行客制化整合后，透過Modbus TCP通訊協議發送至場域內部的數據收集系統
• 有效率的大量部署