項目:
擴散泵在半導體制造中起著重要作用。如果泵在過程中出現故障，則價值數百萬美元的半導體產品將處于危險之中。狀態監視平臺可用于幫助連續監視難以到達的泵的狀態，以預測問題，進行關鍵的預測性維護并減少浪費。
 
真空泵監測目的
*預防真空泵在正常工作時數內（定期保養前），提前老化；
*預防泵浦卡粉，造成機械損壞甚至卡死造成無預警停機；
*培林端油品問題（漏油、劣化），導致泵浦提前損壞；
*運轉中良品延長工作時數，拉長定期保養時間，有數據化的降低運轉維護成本；
*保養后回廠設備是否有達到保養需求規格，確保委外保養效益。
 
制程損失：
LPCVD爐管，每次可送入至少50-150片晶圓，設備核心為真空泵浦，抽氣維持真空狀，當泵浦因卡粉或軸承損壞，會使制程中斷，造成整批晶圓產品報廢。
LVPVD制程晶圓成本：
12時晶圓：3000 USD/片，一次防御省下：4,500,000~13,500,000 NTD
8時晶圓：500 USD/片，一次防御省下：750,000~2,250,000 NTD
 
上機測試時間成本與維修成本
真空泵浦送修，整體維修價約50,000~70,000新臺幣
真空泵，整體維修報價券100,000~120,000新臺幣
維修無法確定損壞部件有無更換。
真空泵送修回來無法確定設備是穩定，在旁測試7天后，穩定才上機。
現有客戶維修后仍未修復完全，防止驗收瑕疵比例：1/30
 
客戶利益:
識別早期故障跡象，防止意外故障
獲取可靠信息，提高產量，降低維修成本
在維修后返回時提供機器狀態驗證